Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Арт. 978-5-94836-222-9
Характеристики
Издательство
:
Техносфера
Раздел
:
Пока не привязаны к разделу и жанру
Серия
:
Мир материалов и технологий
Тип обложки
:
Твердый переплет
Описание
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Характеристики
Издательство
Техносфера
Раздел
Пока не привязаны к разделу и жанру
Серия
Мир материалов и технологий
Тип обложки
Твердый переплет
Количество страниц
528
Автор
Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман